



RoHS compliant

Clean room compliant

Pulse type

Ultra-high Pressure type

Control panel TP panel

UL SEMI

1. 1차 필터 구조 & 특징
효율 0.5um (99.99% ↑) 의 필터에 제올라이트를 프리코트함으로써 레이저 가공으로 발생한 흄이나 미립자를 흡착 · 포집합니다.
블로어에 의해 흡입된 공기 중의 흄이나 미세분진은 송풍구에서 날아오르는 동시에 제올라이트를 감아 필터에 적층시킵니다.
■ 먼지 제거 기능(펄스식)
독자적인 연속 펄스 에어 (압축 공기) 세정 기능을 채용하고 있습니다. 펄스 세척의 간격 시간을 변경할 수 있습니다.
구조와 특징
■ 상승유도 구조로 제올라이트로 프리코트 합니다. [특허취득완료]
레이저에 의한 매우 미세한 분진과 점성이 높은 흄을 집진하여도 긴 필터 수명을 유지할 수 있습니다.
또한, 테프론 필터로 박리성을 높였습니다.
흡입 블로어에 의하여 흄과 미세분진은 제올라이트 통로를 통과,
제올라이트와 함께 상승하여 필터 표면에 적층됩니다.

2. 필터 BOX
■ 간단한 1차 필터실의 분리 기구
좌우의 패칭 자물쇠를 떼어내 정면의 뚜껑을 열고 1차 필터실 좌우의 레버를 당겨 슬로프 위로 굴려서 제거할 수 있습니다.


원격 제어 기능
리모컨 코드(별매품/모델:MT-173-8(3m)를 사용하면 주변기기와 원격으로 조작할 수 있습니다.
호스트 스위치 용량 수준(풍량) 변경
원격 제어 기능을 사용하여 능력 수준을 변경할 수 있습니다.
각 변경 사항은 기록되고 다음에 재부팅할 때 자동으로 해당 수준으로 조정됩니다.
또한 작동 신호, 필터 막힘 신호, 압력 신호 및 이상 신호를 호스트 컴퓨터에서 출력할 수 있습니다.

LAN/RS-485 (옵션사항)
AT3 패널의 모든 기능은 LAN 또는 RS-485 통신을 사용하여 작동할 수 있습니다.

| 출력 | 7500W |
|---|---|
| 전압 · 상 | 460V 3상 (50/60Hz) |
| 정격 전류 | 12.7A |
| 최대 풍량 | 10.0㎥/min |
| 최대 정압 | 18.0kPa |
| 소음치 | 68-74dB |
| 흡입구 크기 | Ø100 |
| 원격 제어 기능 | O |
| 집진 가능량 | 22L |
| 중량 | 302.0kg |
| 본체 크기(D x W x H) | 940 x 830 x 1655mm |
Q : 필요풍량(㎥/min)
Vc : 제어풍속(m/Sec)
X : 거리(m) * 분진 발생원으로부터 흡입구까지의 거리
A : 개구면 면적(m2) * L x W
풍량 Q : 60 x Vc x (10 x X²-A)
| 후드 | 제어풍속 | |
|---|---|---|
| 폐쇄형 후드 | 0.4 | |
| 개방형 후드 | 가벼운 먼지 | 0.5 |
| 흄 | 0.25 | |
| 무거운 먼지 | 0.75 | |
| 외부 공기 흐름의 영향을 받음 | 1 | |
| CMP-6900 필터 | VC1-200-500 (4개) |
|---|---|
| 제올라이트 | ZEO-13000 (13kg) |
| Remote Cable | MT-173-8-3 (3M) |
| 이더넷 통신 모듈 | RS-EN |